激光干涉仪应用

激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正，并可完成按标准测量各项参数，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数控系统），机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入、输出功能等。

激光干涉仪的功能有以下几方面：
1.自动螺距误差补偿。激光干涉仪不仅能自动测量机器的位置精度，而且还能通过RS232接口使计算机和数控系统实现通信，对误差进行自动补偿。它比通常的手工补偿方法节省了大量的时间，同时可限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到精度。
2.回转坐标精度标定。回转坐标分度精度标定可对数控转台在任意角度位置，以任意测量间隔进行自动测量及补偿。
3.机床动态特性测试与评估。利用中图动态特征测量与评估软件，可用干涉仪进行杌床振动测试与分析、滚珠丝杠的动态特性分析、伺服驱动系统的响应特性分析、导轨的动态特性（低速爬行）分析等，从而帮助用户对机器源进行分析。
4.触发脉冲输入、输出功能。利用触发脉冲输入，可实现外部控制激光干涉仪记录数据，从而可实现类似于激光丝杠动态精度检查仪的功能或机床传动链精度检查功能。利用触发脉冲输出，可用激光干涉仪定时或定距发出脉冲，从而实现类似于激光光刻机的功能。
5.其他用户接口装置。可用中图公司提供的特殊接口软件，对于现有某些品牌的电子水平仪或数字指示仪器的用户，配合中图激光干涉仪校准软件，实现直线度、平面度及垂直度等几何精度的检测，从而节省用户投资费用。

 技术指标

      系统性能

² 测量方式：单频

² 稳频精度：0.05ppm

² 动态采集频率：50 kHz

² 预热时间：5-10分钟

² 工作温度范围：0~40℃

² 环境温度范围：0~40℃

² 存储温度范围：-20℃~70℃

      环境补偿示值误差

² 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 空气湿度传感器：±6% (0-95%)

² 大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

      线性测量

² 测量距离：0-40m

² 测量精度：0.5ppm (0-40℃)

² 测量分辨率：1nm

² 测量速度：4m/sec

      角度测量

² 轴向量程：0-15m

² 测量范围：±10°

² 测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

² 测量分辨率：0.1μm/m

      直线度测量

² 轴向量程：0.1-4.0 m

² 测量范围：±2.5 mm

² 测量精度：±0.5% R±0.5±0.15M² μm（M为光学镜移动距离，单位：m）

² 测量分辨率：0.01μm

      垂直度测量

² 测量范围：±3/M mm/m

² 测量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

² 测量分辨率：0.01μm/m

      平面度测量

² 轴向量程：0-15 m

² 测量范围：±1.5 mm

² 测量精度：±0.6% R±0.02 M² μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

² 测量分辨率：0.1μm

      回转轴分度精度测量

² 角度测量范围：0-360°

² 精密转台角度增量：5°

² 精密转台分度精度：±1秒

² 精密转台重复性：0.2秒