型号规格
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SFS10
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SFS20
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激光波长
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1.064μm
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激光功率
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10W
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20W
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激光重复频率
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20KHz~100KHz
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划片线宽
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≤30μm
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划片速度
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160mm/s
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200mm/s
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划片精度
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±10μm
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工作台幅面
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350mm×350mm
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工作电源
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220V/50Hz/1KVA
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工作台
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双气仓负压吸附,T型台双工作位交替工作
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重复定位精度
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±10μm
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•高配置:采用进口光纤激光器,光束质量更好(标准基模)、切缝更细(30μm)、边缘更平整光滑
•免维护:整机采用标准模块化设计,真正免维护、不间断连续运行、无消耗性易损件更换
•操作方便:设备集成风冷设置,设备体积更小,操作更简单
•控制软件:专为激光划片机而设计的控制软件,操作简单,能实时显示划片路径。
•工作效率高:T型台双工位交替运行,提高工作效率划片速度可达200mm/s
应用及市场
•能适应单晶硅、多晶硅、非晶硅电池划片和硅、锗、砷化镓半导体材料的划片和切割。
公司名称:武汉三工光电设备制造有限公司
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