Leica EM TIC 3X 三离子束切割仪

    三离子束切割仪几乎适用于任何材质样品，获得高质量切割截面。

    使用徕卡EM TIC 3X进行离子束切割是一项适用于切割硬的，软的，多孔的，热敏感的，脆的和/或非均质多相复合型材料，获得高质量切割截面，以适宜于扫描电子显微镜（SEM）微区分析（能谱分析EDS，波谱分析WDS，俄歇分析Auger，背散射电子衍射分析EBSD）和原子力显微镜（AFM）分析。

    这一技术几乎是一个适用于任何材质样品，获得高质量切割截面的解决方法。使用该技术对样品进行处理，样品受到形变或损伤的可能性，可暴露出样品内部真实的结构信息。http://www.yetech.hk/

    徕卡EM TIC 3X在技术上超越了传统的离子束抛光切割设备。它使用三离子束，并可装配冷冻样品台和三样品台，可以高速率离子束轰击样品，得到宽且深的切割区域，获得一个高质量的平整的切割截面，几乎适用于任何材料，整个样品处理过程快速简便。

›› 可获得高质量切割截面，区域尺寸可达>4×1mm

›› 多样品台设计可一次运行容纳三个样品

›› 离子研磨速率高，Si材料150μm/h，50μm切割高度，满足实验室高通量要求

›› 可容纳样品尺寸为50×50×10mm

›› 可使用的样品载台多种多样

2.简单易用，高精度

›› 可简易准确地完成将样品安装到载台上以及调节与挡板相对位置的校准工作

›› 通过触摸屏进行简单操控，不需要特别的操作技巧

›› 样品处理过程可实时监控，可以通过体视镜或HD-TV摄像头观察

›› LED照明，便于观察样品和位置校准

›› 内置式，解耦合设计的真空泵系统，提供一个无振动的观察视野

›› 可在制备好的平整的切割截面上可再进行衬度增强作用，即离子束刻蚀处理。

›› 通过USB即可进行参数和程序的上传或下载

›› 几乎适用于任何材质样品

›› 使用冷冻样品台，挡板和样品温度可降至–150°C
三离子束技术徕卡EM TIC 3X的特点是三个鞍形场离子源集于一体

综述

    三离子束部件垂直于样品侧表面，因此在进行离子束轰击时样品（固定在样品托上）不需要做摆动运动以减少投影/遮挡效应，这又保证有效的热传导，减少样品在处理过程中受热变形。

技术

    三离子束汇聚于挡板边缘的中点，形成一个100°轰击扇面，切向暴露于挡板上方的样品（样品上端高出挡板约20-100μm），直到轰击到达样品内部目标区域。新型设计的离子枪可产生的离子束研磨速率达到150μm/h (Si10 kV，3.0 mA，50μm切割高度)。徕卡的三离子束系统，可获得优异的高质量切割截面，且速率高，切割面宽且深，这可大大节约工作时间。通过这一技术可获得高质量切割截面，区域尺寸可达>4×1mm。

使用

    在使用时，每一把离子枪可以单独控制和开关。这便于操作者根据应用需要设置不同的离子枪参数，如做衬度增强作用（离子束刻蚀）或温和地离子束轰击。

装配您的系统

    现在的科研实验室往往寻求快速简单的样品制备方法同时又不放弃高质量高标准要求。徕卡EM TIC 3X三离子束切割仪的创新技术正为这一类有着高期望值的实验室提供解决方案，以实现你们的目标。根据应用需求，徕卡EM TIC 3X可以由您装配用于标准类型样品制备，高通量样品制备以及特殊的热敏感型样品在低温下样品制备（如聚合物，橡胶等）。

根据应用需求，有三种样品台可选，更换简便：

标准样品台

    标准样品台适用于常规样品制备以及对制备获得的平整截面再做衬度增强作用（离子束刻蚀）。

三样品台

    如需高通量样品制备，可使用三样品台。可以同时放入三个样品，一次运行（如过夜运行）完成样品制备，不需要操作者介入。

冷冻样品台

    冷冻样品台提供低温环境下样品制备。使用冷冻样品台，样品载台和挡板温度都可降至–150°C，这样温度极敏感的样品，如橡胶，水溶性聚合物纤维，甚至是棉花糖（如实验需要）也可被制备获得高质量结果。25L的液氮罐可为一整个工作日提供足够量的LN2，不需要中途再添加。当需要打开样品室，样品及冷冻部件将在真空环境下先自动升温恢复至预设的合适温度，以避免样品室内部结霜污染。

衬度增强作用

在离子束切割之后，无需取下样品，用同样的样品载台还可对样品进行衬度

增强作用，可以强化样品内不同相之前的拓扑结构（如晶界）。

高精度

    现在，样品中越来越小的细节结构正逐步受到人们的关注。而通过切割获得截面，如获得很小的TSVia孔结构，已经变得轻而易举。所有样品台都设计达到±2μm的样品位置校准精度。不仅样品台的控制精度可以实现如此精确的目标定位校准工作，观察系统也可观察约3μm大小的样品细节，以便进行精确的目标定位。为帮助定位时更好地观察样品，4分割LED环形光源或LED同轴照明提供很大帮助，帮助使用者从体视镜或HD-TV摄像头中获得清晰的图像。由于将真空泵内置于仪器内部，因此不需要再单独腾出一个空间。得益于真空泵的解耦合设计，在样品制备过程中，观察视野不会受到真空泵产生的振动干扰。

人体工学设计，简单易用

    徕卡EM TIC 3X配套的体视显微镜不仅用于样品定位校准和样品处理过程的观察。当把一个工作平板放在体视镜下方，体视镜又可作为手工处理样品时或者将样品粘牢到样品托上时的观察工具。因此，实验室不需要再添置额外的观察体系用于微小样品的手工操作。一体式触摸屏控制面板其杰出性能不仅因为操作直观，还因为带有指示和帮助信息，便于使用者掌握和使用。使用USB就可实现操作参数或报告的上传或下载。

实验台

可提供实验台，带有如下众多特点：

›› 被动式减震单元，用于降低由环境引入的震动

›› LN2泵停泊位置

›› 氩气钢瓶卡位，安全

›› 带有肘托，在对样品进行操作时可提供一个符合人体工学的优化位置

›› 配套一把座椅，坐姿舒适，完善人体工学理念

›› 对已制备好的切割截面进行衬度增强作用

›› 简易的触摸屏控制面板，不需要专门的操作技巧

›› 通过体视镜或HD-TV摄像头可对样品处理过程实时监控

›› LED照明提供化的样品视觉观察和样品定位校准

›› 通过USB即可上传参数

›› 高度可靠，高通量，高成本效益

与徕卡EM TXP相兼容

    在使用徕卡EM TIC 3X之前，往往需要对样品进行机械预加工以切割到尽可能接近于目标区域的位置。徕卡EM TXP是一款的可对目标区域进行精确定位的表面处理设备，可对样品进行切割及抛光等，适合于作为如徕卡EM TIC 3X等设备的前期制样工具。徕卡EM TXP可对样品进行诸如切割，铣削，研磨及抛光等前处理，尤其适用于需要目标精细定位或需对微小目标进行定点处理的高难度样品。

优势

一个样品托，样品被固定后用徕卡EMTXP进行机械前处理后，可以再被徕卡EM TIC3X进行原位地离子束切割及衬度增强作用，然后SEM 原位检测，直到连同样品托的样品被放入存储盒中，以便后续再观察检测。