高温四探针电阻率测试系统

FT-351高温四探针电阻率测试系统

一、概述：

采用由四探针双电测量方法测试方阻和电阻率系统与高温试验箱结合配置的高温四探针测试探针治具，满足半导体材料因温度变化对电阻值变化的测量要求，通过测控软件可以实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线，及过程数据值；是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。

二、适用行业：

广泛用于：生产企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻、电阻率和电导率数据.

三、功能介绍：液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；

本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。

测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。

提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求

四、技术参数资料

1.方块电阻范围：10^-52×10⁵/□ （其他规格方阻选购）

2.温度选购：400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃可调节；冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C

3.升温速度：9999分钟以内自由设定,一般10分钟内即可升到900℃；

4.材料：采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征。

5.测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！

6.选购：电脑和打印机

7.探针材质：钨电极

8.配置有弹性式探针，满足高温下探针与样品的良好接触.

9.高温箱体配置有气氛保护输入和输出接口（惰性气体客户自备）

常用惰性气体如：氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子

10.PC软件安装电脑满足要求

Windows7系统或以上；硬盘：80G;内存：256MB;显卡：集成或独立显卡；CPU:单核或双核

11. 高温箱：功率：4kw.供电：220V或380V;

12.选购方阻量程机型如下：

整套设备包括：主机一台+高温测试夹具一套+高温炉一套（根据要求选择温度）+PC软件一套。电脑自备。

使用范围（耐高温）：盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料，硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料导电性陶瓷 。

试样尺寸：方形或者长方形的样品，单位为mm,小11*11，小50*50，厚度在20。