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NexION 5000是业界多重四极杆ICP-MS，由四组四极杆组成。其创新设计达到和超过如半导体、生物监测和其他应用领域严苛的痕量和超痕量元素检测要求。NexION 5000性能超越了传统的三重四极杆技术，提供极低的背景等效浓度（在高温热等离子字体中，BECs<1 ppt）和出色的检测极限，确保了结果的精度和可重现性。NexION 5000 ICP-MS具有：
干扰去除能力
出色的背景等效浓度(BECs)
基体耐受性
符合SEMI S2/S8法规和安规要求
四组四极杆：
一组
四极杆离子偏转器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一个基于离子能量的静电质量分析器，对离子进行动态聚焦和质量筛选，同时把离子偏转90度以实现与中性成分和光子分离，导入下一级四极杆
二组
为一个四极杆质量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作质量分析器或将离子引导至四极杆通用池。它包含长预四极杆，可获得更好的高能离子聚焦，从而具有单位质量或更好的质量分辨，佳分辨率 < 0.3 amu
第三组
为四极杆通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市场上由四极杆构成的池技术，具有动态带宽质量调谐能力（从而可以对反应进行有效的控制），标配轴向场技术（从而可以使用任何所需的气体），既可以作为离子聚焦加速的离子通道，又可以作为特定离子的质量选择器，抑制池内副反应的产生，从而彻底去除干扰。
第四组
为第二个四极杆质量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作质量分析器或将离子引导至检测器。具有单位质量或更好的质量分辨，佳分辨率 < 0.3 amu
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