XDS-7NH半导体材料气体泄漏检测仪

型号

XPS-7

对象气体

半导体材料气体

检测原理

定电位电解式 

取样方式

自动吸引式

测量范围

根据规格

分辨率

满量程的百分之一 

指示精度

FS±10%以内 

报警方式

报警灯闪烁，蜂鸣器断续鸣叫

使用环境

0°C～+40°C

电源

5号锰干电池4节或AC变压器

使用时间

连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时）

外形尺寸

 W762×H150×D128㎜(除去突起物)

重量

约1.3kg

标配附件

肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤片2张

对象气体一览表

型号

气体

F.S

型号

气体

F.S

型号

气体

F.S

XDS-7NH

NH3

100ppm

XDS-7GH

GeH4

1ppm

XDS-7HS

H2S

50ppm

XDS-7SH

SiH4

25ppm

XDS-7CL

CL2

5ppm

XDS-7CO

CO

250ppm

XDS-7DC

SiH2CL2

25ppm

XDS-7CF

CLF3

1ppm

XDS-7DS

Si2H6

25ppm

XDS-7AH

AsH3

250ppb

XDS-7HC

HCL

25ppm

XDS-7F2

F2

5ppm

XDS-7PH

PH3

1ppm

XDS-7HF

HF

10ppm

XDS-7OZ

O3

1ppm

XDS-7BH

B2H6

500ppb

XDS-7HB

HBr

10ppm

XDS-7SE

H2Se

250ppb

XDS-7NO

NO

100ppm