本扩散炉加热炉体可完全代替进口炉体,加热炉丝,进口保温材料,采用国外先进加工工艺,炉体可长期使用在高温下,处理12英寸以下硅片,工作温度200—1300℃。
扩散炉加热炉体技术指标:
u加热炉丝:瑞典康泰尔高温炉丝
u保温材料:英国摩根进口保温棉
u绝缘材料:高纯度95瓷拉条绝缘子
u使用温度:200℃—1300℃
u外 壳:不锈钢板
u端 口:氧化铝氧化锆
u控温段:3段、5段、9段控温
u口 径:Φ80mm—Φ500mm
u恒温区:根据工艺要求