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石英管真空炉用于真空条件下集成电路、电力电子器件生产线对所生产产品进行烧结、合金、退火、焊接等工艺处理。具有控温精度高，降温速度快等特点。
石英管真空炉技术指标：
u石英管真空室：1—3室
u真空度：1Pa，加扩散泵为5x10-3Pa
u工作温度： <1300℃
u控温精度： ±1℃
u等温区长度：根据工艺要求
u口径：Φ80mm～Φ280mm
u控制方式：程控、微控
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公司基本资料信息
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