点击图片查看原图
通过认证 
程控扩散炉技术指标：
u可处理硅片尺寸：2—12英寸
u外型形式：卧式1—4管结构
u工作温度：200℃—1300℃
u恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
u单点温度稳定性、重复性：≤±1℃／24h
u温度斜变：可控升温速率15℃／min
u可控降温速率：5℃／min
u送片装置：手动推拉
u气路系统：1—5路工艺气体／管
u气体控制：手动浮子流量计
u控制方式：程控
 |
 |
责权声明：
①本版块的所有文章及图片均为客户自行编辑，其版权为客户所有，客户需保证其编辑的文章及图片均无侵犯任何第三方的合法权益，如被第三方维权，由客户承担全部责任；
② 本网站仅为展示平台，如要转载，请与我网站联系协助获得授权；
③发布内容如有侵权，请及时联系我网站进行删除。
※ 联系电话：0535-2154193
在线咨询 
鲁公网安备 37060202000128号
