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仪器由电气和机械二大部分构成。电气部分主要是一个供电晕放电的高压电源及控制仪器操作的电路；机械部分主要是以真空泵为主体的气动机构及电晕小车。 静电压痕仪主要用来显现纸张上字迹压痕，涂改痕迹、水渍、指纹和固定灰尘脚印。 操作时将文件放置在多孔真空板上，在文件上覆盖聚酯薄膜。真空泵抽气时，文件和聚酯薄膜紧贴在真空板上。高压电晕盒在文件上扫动，聚酯薄膜对应纸上有痕迹的地方电荷密度不同于其他部位，即形成了静电潜影，喷洒色粉可以将静电潜影显现出来。
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