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INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
MPG400冷阴极和皮拉尼的复合真空规的详细介绍
优点：
■复合真空规—冷阴极与皮拉尼
■宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
■无可烧毁的灯丝
■的引燃功能
■易清洗
■FPM或金属密封的馈入件
■高压加上时LED指示灯亮
■对数模拟输出讯号
应用：
■高真空压强监测
■蒸发和溅射系统的压强测量
■一般真空测量和控制，从中至高真空范围
技术参数：
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测量范围 (空气, N2)
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毫巴(乇)
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5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
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精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴
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% 读值
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≈±30%
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重复性1 x 10-8 … 100毫巴
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% 读值
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≈±5%
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安装方向
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任何
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允许压强
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巴()
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≤10 (限于惰性气体)
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允许温度
工作 (室温)
贮存
烘烤 1)
灯丝温度 (皮拉尼)
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°C
°C
°C
°C
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+5 … +55
–40 … +65
150
120
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电源电压
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在规管上
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V DC
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+15 … +30
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在供电单元上, 电缆长度 2)
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V DC
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+16 … +30
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纹波
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Vpp
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≤1
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功耗
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W
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≤2
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连接保险丝
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AT
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≤1
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输出讯号(测量讯号)
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电压范围
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V
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0 … +10.5
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测量范围
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V
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+1.82 … +8.6
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电压与压强的关系
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对数, 0.6 V/量级
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误差讯号
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V
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<0.5 (无电源)
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V
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>9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂)
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输出阻抗
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?
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2 x 10
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负载阻抗
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k?
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10, 短路保护
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响应时间 p > 10毫巴 -6
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毫秒
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<10
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p = 10-8 毫巴
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毫秒
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≈1000
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规管标识
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k?
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85, 参考电源公共点
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状态
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仅皮拉尼模式
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V
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0 (低)
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复合皮拉尼 / 冷阴极模式
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V
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15 … 30 (高)
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指示灯
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LED 绿色
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高压on
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电气连接
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FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型
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传感器电缆
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8芯,加屏蔽
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电缆长度
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米
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≤50 (8 x 0.14 毫米2)
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工作电压
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千伏
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≤3.3
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工作电流
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微安
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≤500
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暴露于真空的材料
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不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
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不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W
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内容积
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厘米3
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≈20
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重量
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DN 25 ISO-KF
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克
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≈700 ≈730
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DN 40 ISO-KF
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克
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≈720 ≈750
|
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DN 40 CF-F
|
克
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≈980 ≈1010
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保护级别
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IP 40
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标准
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EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1
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