1. 可以测试到1010Ω方阻值.
2. 液晶显示,高精度AD芯片控制.
3. 恒流输出, 四探针双位测量.
4. 参考美国 A.S.T.M 标准.
5. 中或英文语言版本.
FT-371系列高阻双电四探针测试仪
应用说明Widely used:
覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试
硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜,抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等.
参数资料 Parameters:
规格型号model |
FT-371A |
FT-371B |
FT-371C |
1.方块电阻范围sheet resistance |
10-4~1×107Ω/□ |
10-4~1×109Ω/□ |
10-4~1×1010Ω/□ |
2.电阻率范围resistivity |
10-5~2×108Ω-cm |
10-5~2×1010Ω-cm |
10-5~2×1011Ω-cm |
3.测试电流范围test current |
10mA ---200pA |
10mA ---20pA |
10mA ---2pA |
4.电流精度current accuracy |
±2% |
±2% |
±5% |
5.电阻精度resistance accuracy |
≤10% |
≤10% |
≤15% |
6.显示读数display |
液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity |
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7.测试方式test mode |
组合双电测试方法combined double electric test method |
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8.工作电源working power |
输入: AC 220V±10%.50Hz功 耗:<30W |
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9.误差errors |
Machine uncertain≤15% |
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10.选购功能choose to buy |
选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform |
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11.测试探头test probe |
探针间距选购: 2mm;3mm两种规格; 探针材质选购:碳化钨针、镀金磷铜半球形针Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles. |
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工作原理和计算公式
1.双电测四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下:
直线四探针测试布局如图8,相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理:
当电流通过1、4探针,2、3探针测试电压时计算如下:
四探针测试结构
当电流通过1、2探针,4、3探针测试电压时计算如下:
从以上计算公式可以看出:方阻RS只取决于R1和R2,与探针间距无关.针距相等与否对RS的结果无影响,本公司所生产之探针头采用等距,偏差小.