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一、荧光X射线微小面积镀层厚度测量仪的特征：
1、膜厚仪可测量电镀、蒸镀、离子镀等各种金属镀层的厚度；
2、可通过CCD摄像机来观察及选择任意的微小面积以进行微小面积镀层厚度的测量，避免直接接触或破坏被测物；
3、薄膜FP法软件是标准配置，可同时对多层镀层及全金镀层厚度和成分进行测量。此外，适用于无铅焊锡的应用。
4、备有250种以上的镀层厚度测量和成分分析时所需的标准样品。
二、膜厚仪测量原理：
如下图所示，物质经X射线或粒子射线照射后，由于吸收多余的能量而变成不稳定的状态。从不稳定状态要回到稳定状态，此物质必须将多余的能量释放出来，而此时是以荧光或光的形态被释放出来。荧光X射线镀层厚度测量或成分分析仪的原理是测量这被释放出来的荧光的能量及强度，来进行定性和定量分析。
三、镀层厚度的测量方法：
镀层厚度的测量可分为标准曲线法和FP法（基本参数法）2种，标准曲线法是测量已知厚度或组成的标准样品，根据荧光X射线的能量和强度及相应镀层厚度的对应关系，来得到标准曲线。之后以此标准曲线来测量示知样品，以得到镀层厚度或组成比率。
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