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Genesis-I型plus扫描电镜是全数字化控制，专业级电子显微成像分析仪器。
Genesis-I型plus具有先进电子光学系统，可接配专业级x-ray能谱仪EDS，准确快速获得微区化学成分；采用简单的圆柱型样品仓结构，手动样品台，是一款经济实用高精度分析型扫描电镜；采用样品仓低真空环境技术，有效减轻或消除荷电，可直接测试非导电样品。
【硬件特征】：
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全数字化控制，专业级电子显微成像分析能力；
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五轴手动样品台，更经济；
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优中心样品台，方便优化电子显微成像分析效果；
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拓展专业EDS，获得更准确元素定量结果；
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高速涡轮分子泵真空系统，可随时开关机，不影响抽速；
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样品室低真空环境成像功能
优中心样品台，多工位样品托座
【软件特征】
用户友好：包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制；
特殊样品：动态聚焦（DF）、倾斜补偿；
高效拍照：自动照相（Auto Imaging）； 大图拼接：连续视野照片缝合； 信号探测：支持SE、BSE、STEM同时；
鼠标键盘操作，简易快捷。
【安装示意图】
【性能指标】
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型号 |
Genesis-500plus |
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样品台 |
五轴优中心，全手动 X、Y: 40mm | Z: 5-45mm | R:360°无限 | T:-20°~90° |
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电子枪 |
预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
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加速电压 |
200V-30KV （发射电流190μA @ 30KV/电子枪功率：5.7W) |
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探测器 |
ET-SED 半导体固体BSED |
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物镜光阑 |
20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
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分辨率 |
4nm @30KV (SEI) 5nm @30KV (BSEI) |
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放大倍数 |
10-300,000 X |
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样品室 |
内径φ150mm，Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
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样品尺寸 |
Φ96mm X 50mm |
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工作距离 |
0-45mm |
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扫描光栅运动 |
电位移 ±50μm， 电旋转 0-360° |
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扫描模式 |
聚焦模式：320240 像素 ，尺寸可变 TV模式：800x 600像素 慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。 照相模式：800600、960720、1024x768、16001200、32002400像素 动态聚焦，倾斜补偿，自动照相。 |
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图像格式 |
JPG、TIFF、bmp、PNG |
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真空模式 |
- 高真空优于9x10-3Pa - 低真空10-100Pa
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真空系统 |
全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于3分钟） -涡轮分子泵
-旋片式机械真空泵
-电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等
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自动功能 |
亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中 |
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软件系统 |
基于Win8，Virtuoso1.1控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。 |
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主机尺寸/重量 |
600(W）x623（D）x 1350（H）mm /120kg |
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电源 |
单相交流 220V 、50Hz、1KW |
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耗材附件 |
预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，工具 |
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可选配置 |
四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |
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